以研點數來表示，即固定的面積內要求達到固定點數要求。 用允許的平面度和直線度表示。工件平面大范圍內的平面度，機床導軌面的直線度等都是水平儀來檢查的，檢查結果都要符合要求。 有些工件，除了單位面積內貼合點數要求符合要求，還要配合定厚度的塞尺檢查配合之間的間隙大小，對于承受壓力的氣缸，閥體還要進行氣壓和液壓的試驗。
